一种X射线荧光光谱仪制造技术

本发明专利技术公开了一种X射线荧光光谱仪，涉及膜厚检测技术领域，包括主机组件，所述主机组件包括有主机外壳，所述主机外壳的底部固定连接有支撑底板，所述主机外壳的顶部固定连接有固定顶板。该X射线荧光光谱仪，通过启动真空泵，使其产生吸力，此时调节调压阀门能够改变吸力的强弱，避免吸力过大对薄膜产品造成损坏，那么经过连通管将通气腔内部的气体都抽离，因此每个正吸气口和每个斜吸气口都具有吸力，由于薄膜产品平铺在检测板上，检测板表面的吸力会像吸盘一样将薄膜产品吸附住，其中正吸气口对薄膜产品产生的吸力是垂直向下的，而斜吸气口对薄膜产品产生的吸力是斜向外的，具有辅助舒展的功能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及膜厚检测，具体为一种x射线荧光光谱仪。

技术介绍

1、x射线荧光光谱仪是用于元素分析和材料成分测定的科学仪器，用于在线膜厚检测时的工作原理是：当x射线照射到薄膜样品时，会激发样品中的原子产生特征x射线荧光，薄膜的厚度会影响荧光的强度和能量分布，通过测量荧光的强度和特征，结合已知的薄膜材料的物理参数和校准数据，可以计算出薄膜的厚度，在线膜厚检测是指在生产过程中，对产品表面的膜层厚度进行实时、连续的测量和监控。

2、现有技术中，如中国专利号为：cn113552158a中，公开了一种x射线荧光光谱仪，包括机架及驱动架，机架上设有开口及盖合在开口上的样品盖。x射线荧光光谱仪还包括转臂及驱动片，转臂设有相对的第一端及第二端，第一端与样品盖连接，驱动片设置在驱动架上并设有导槽。驱动架沿机架朝第一方向滑动时，第二端进入导槽内并跟随驱动架移动，第一端被第二端带动而转动，并带动样品盖一起转动打开开口。本申请x射线荧光光谱仪通过设置转臂及驱动架，在驱动架移动的过程中可同时实现样品盖的开启和关闭，可简化结构并降低成本。

3、目前，在使用x射本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种X射线荧光光谱仪，包括主机组件（1），所述主机组件（1）包括有主机外壳（101），所述主机外壳（101）的底部固定连接有支撑底板（106），所述主机外壳（101）的顶部固定连接有固定顶板（105），所述固定顶板（105）的内壁固定连接有气定组件（5），所述气定组件（5）的顶部固定连接有压膜组件（4），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪，其特征在于：多个所述加强板（405）每两个为一组，每组所述加强板（405）的相对之间均固定连接有连接杆（406），每个所述连接杆（406）的底部均固定连接有多个用于将检测膜厚的薄膜进行按压定位的按压爪（407），每个...

【技术特征摘要】

1.一种x射线荧光光谱仪，包括主机组件（1），所述主机组件（1）包括有主机外壳（101），所述主机外壳（101）的底部固定连接有支撑底板（106），所述主机外壳（101）的顶部固定连接有固定顶板（105），所述固定顶板（105）的内壁固定连接有气定组件（5），所述气定组件（5）的顶部固定连接有压膜组件（4），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：多个所述加强板（405）每两个为一组，每组所述加强板（405）的相对之间均固定连接有连接杆（406），每个所述连接杆（406）的底部均固定连接有多个用于将检测膜厚的薄膜进行按压定位的按压爪（407），每个所述固定筒（401）的顶部均固定连接有限位盖（402），每组所述抽拉杆（404）的一端分别滑动贯穿每个限位盖（402）至外部。

3.根据权利要求2所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：所述固定顶板（105）的顶部固定连接有防护框（111），所述防护框（111）设置在检测板（503）的外部。

4.根据权利要求3所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：所述主机外壳（101）的前表面设置用于显示检测结果的显示屏（103），所述主机外壳（101）的前表面靠近显示屏（103）处设置功能键（104）。

5.根据权利要求4所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：所述主机外壳（101）的两侧外表面均开设有多个散热孔（102），所述主机外壳（101）的后表面固定嵌设有安装板（108），所述安装板（108）的外表面中间处开设有安装孔（109），所述安装孔（109）的内部设置排风扇（110），且排风扇（110）用于将主机外壳（101）内部产生的热量快速排出。

6.根据权利要求5所述的x射线荧光光谱仪，其特征在于：所述固定顶板（105）的底部与支撑底板（106）的顶部之间靠近四个拐角处均固定连接有支撑柱（112），...

【专利技术属性】
技术研发人员：宁德，徐泽林，黄姿琦，黄贵骁，龚海敏，
申请(专利权)人：派镀科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：