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本发明公开了一种多晶硅的生产工艺，它是通过向２个以上串联的反应器中通入包括氢气和含硅气体的混合气体作为原料气，在所述反应器中，所述原料气发生反应，通过化学气相沉积生产多晶硅的工艺，通过调节作为原料气的所述氢气的进气量Ｍ，和／或调节作为原料气...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。

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