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一种衬底处理系统包含：激光三角传感器，其被配置成通过衬底处理室的外壁的窗来传输和接收光。控制器被配置成：将所述激光三角传感器定位，使得所述激光三角传感器传输光至布置于衬底支撑件的第一表面和气体分配装置的第二表面之间的测量特征上，其中所述第二...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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