温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种晶圆传送校准片，其特征在于，其包括：透明圆片，其直径和厚度与裸晶圆尺寸一致；不透明环形薄膜，其涂覆于所述透明圆片一侧或/和两侧表面的边缘，所述不透明环形薄膜的外圆与所述透明圆片的边缘一致。与现有技术相比，本技术可以通过设备传送...
该专利属于美新半导体（绍兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美新半导体（绍兴）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。