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本发明涉及ＭＥＭＳ传感器领域中的矢量水听器，具体是一种矢量水听器的Ｔ形敏感体。解决了现有矢量水声传感器因加工工艺的原因无法在矢量探测和高灵敏上发挥最佳优势的问题，包括由长方体基座、长方体立柱构成的Ｔ形体，长方体基座上通过扩散工艺加工有三个阻...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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