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矢量水听器的T形敏感体制造技术

技术编号:4303516 阅读:418 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器,具体是一种矢量水听器的T形敏感体。解决了现有矢量水声传感器因加工工艺的原因无法在矢量探测和高灵敏上发挥最佳优势的问题,包括由长方体基座、长方体立柱构成的T形体,长方体基座上通过扩散工艺加工有三个阻值相等的基准电阻,长方体立柱上通过扩散工艺加工有位于长方体立柱根部的应变压敏电阻,应变压敏电阻R1的阻值与基准电阻的阻值相等,应变压敏电阻R1与基准电阻R2、R3、R4连接构成惠斯通电桥。结构简单、新颖,灵敏度高、体积小、功耗低、探测距离远、具有良好的“8”字形指向性,加工成本低,适合批量化生产,以其生产加工的矢量水听器应用范围广阔。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器,具体是一种矢量水听器的T形敏感体。
技术介绍
专利号为ZL200610012991. 0的中国专利公开了一种"共振隧穿仿生矢量水声传感器",该传感器用固定于十字形悬臂梁中央的微型柱状体代替纤毛,以固定在十字形悬臂梁上微型柱状体周围的共振隧穿二极管代替纤毛周围的感觉细胞,模仿鱼类侧线听觉原理,通过测量微型柱状体的状态,实现对水下声信号的方位、声压大小的探测。 经检验,该结构的矢量水声传感器极具矢量探测和高灵敏的优势。但按照当前国内外MEMS加工工艺的加工能力,该结构的矢量水声传感器在实现时,十字形悬臂梁和微型柱状体是无法一体化成型,必须分体实现,即十字形悬臂梁和微型柱状体分别加工,然后再集成在一起。以分体部件集成为一体不但存在连接不牢固的可能,而且模态不易模拟控制,因此必然会降低矢量水声传感器在矢量探测和高灵敏上的优势。
技术实现思路
本专利技术为了解决现有矢量水声传感器因加工工艺的原因无法在矢量探测和高灵敏上发挥最佳优势的问题,提供了一种矢量水听器的T形敏感体。 本专利技术是采用如下技术方案实现的矢量水听器的T形敏感体,包括以硅片为加工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种矢量水听器的T形敏感体,其特征在于:包括以硅片为加工材料、经硅基MEMS加工工艺加工出的T形体,T形体由长方体基座(1)、与长方体基座(1)垂直固定连接的长方体立柱(2)构成,长方体基座(1)上通过扩散工艺加工有三个阻值相等的基准电阻R2、R3、R4,长方体立柱(2)上通过扩散工艺加工有应变压敏电阻R1,且该应变压敏电阻R1位于长方体立柱(2)的根部,应变压敏电阻R1的阻值与基准电阻的阻值相等,应变压敏电阻R1与基准电阻R2、R3、R4连接构成惠斯通电桥,其中,三个基准电阻R2、R3、R4分别作为惠斯通电桥的单边基准桥臂,应变压敏电阻R1作为惠斯通电桥的单边应变桥臂。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张文栋李汉清张国军王洪亮何常德关凌纲许姣王晓瑶王鹏
申请(专利权)人:中北大学
类型:发明
国别省市:14[中国|山西]

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