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本发明属于靶材制备技术领域，公开了一种黄色氧化钨钛靶材的烧结方法及黄色氧化钨钛靶材，该黄色氧化钨钛靶材的烧结方法，包括如下步骤：步骤1：将氧化钨钛靶坯以0.5‑1℃/min的升温速率升温至800℃，过程中持续通氧，氧气流量为15‑20L/m...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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