下载带有减小的击穿电压的金属氧化物半导体场效应管器件的技术资料

文档序号:4302106

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本发明涉及一种半导体器件,其特征在于,包含一个漏极、一个覆盖在漏极上的外延层、一个有源区;上述有源区包含:一个沉积在外延层中的主体、一个嵌入主体内的源极、一个延伸进外延层的栅极沟道、一个沉积在栅极沟道中的栅极、一个沿源极和至少一部分主体延伸...
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