下载一种针对Wafer或Die背面金属化的结构设计方法的技术资料

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本发明涉及半导体芯片领域,具体公开了一种针对Wafer或Die背面金属化的结构设计方法以及相关的制备方法;本发明采用大气环境Plasma涂敷,PECVD、CVD、ALD、喷墨打印、喷涂或丝印等镀膜设备,另外采用喷涂、喷墨打印或者丝印设备,针...
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