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本发明属于微电子技术领域，公开了一种基于环形驻波谐振腔的并行MPCVD装置及方法。包括微波源、环形驻波波导谐振腔、石英钟罩组、气体输送和压力控制系统组、冷却系统及衬底生长载体平台、环形运输轨道系统及辅助系统，所述微波源含环形保护器和匹配系统...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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