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本技术提供了一种气体传输系统，以及一种半导体镀膜设备。所述气体传输系统包括特气管路、稀释气体管路及手阀。所述特气管路第一端连接特气源，而其第二端连接工艺腔室，以向所述工艺腔室提供工艺所需的特气。所述稀释气体管路第一端连接稀释气源，而其第二端...
该专利属于拓荆科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技(上海)有限公司授权不得商用。

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