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半导体装置以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:43006711
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半导体装置具备:场绝缘膜(10),与形成于终端沟槽(7)的第1栅极电极(9)相接,覆盖在栅极沟槽(6)的延伸方向上离栅极沟槽(6)远的一方的终端沟槽上端角部(7a)的上方地从终端沟槽(7)的内侧到外侧而形成,厚度比栅极绝缘膜(8)的厚度厚;...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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