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一种测量导电膜(3)厚度的装置(10)和传感器(1)，导电膜(3)位于晶圆(2)上，装置(10)包括：第一线圈(110)被配置为产生磁场，以在晶圆(2)中激发涡流；第二线圈(120)设置在第一线圈(110)的靠近晶圆(2)的第一侧并且与第一...
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