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本技术提供了一种晶圆取放模组及搬运机器人。晶圆取放模组包括：外壳，外壳的前端设置有开口；第一牙叉，连接在外壳的前端，第一牙叉配置成适于承载晶圆；基座，设置在外壳内；第二牙叉，连接在基座的前端，并经过开口延伸至外壳的外部，第二牙叉配置成适于承...
该专利属于北京和崎精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京和崎精密科技有限公司授权不得商用。

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