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本发明公开了一种半导体晶圆清洗设备用紧急保护装置，属于晶圆加工技术领域。一种半导体晶圆清洗设备用紧急保护装置，包括底座，所述底座顶部转动连接有清洗盘，所述底座内腔固定连接有驱动电机，所述驱动电机的顶部与清洗盘底部固定连接，所述清洗盘中部固定...
该专利属于深圳洁盟技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳洁盟技术股份有限公司授权不得商用。

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