下载一种SnO2基复合靶材及其制备方法和应用的技术资料

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本发明公开了一种SnO2基复合靶材及其制备方法和应用;本发明的SnO2基复合靶材包括如下质量百分比的组分:SnO2的含量为91.5%~95.5%,银的含量为3%~5%,氧化铜的含量为1%~2%,氧化镧的含量为0.5%~1.5%,各组分用量之...
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