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本发明公开了一种用于沉积工艺的上喷嘴结构、沉积设备和清洁方法。上喷嘴结构包括：上喷嘴本体，设置于反应腔的上盖板中，上喷嘴本体的第一端与上盖板之间存在间隙，用以向下通入清洁气体；以及导气组件，设置于上喷嘴本体的内部，包括第一主通道和至少一组支...
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