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绝缘体上压电(POI)基板和制造绝缘体上压电(POI)基板的方法技术
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文档序号:42983233
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本发明涉及一种绝缘体上压电(POI)基板(100),该POI基板包括:具有第一声阻抗的支承基板(102);压电层(104),具体是由钽酸锂、铌酸锂、氮化铝、锆钛酸铅、硅酸镓镧或钽酸镓镧形成;具有第二声阻抗并且被夹设在压电层(104)与支承基...
该专利属于索泰克公司所有,仅供学习研究参考,未经过索泰克公司授权不得商用。
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