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本技术公开了一种用于晶圆电镀液循环温控设备的气动三通阀,包括第一单向气动阀和第二单向气动阀，所述第一单向气动阀和所述第二单向气动阀的进水口与三通接头连接，所述第一单向气动阀和所述第二单向气动阀上的气体接口与气动开关连接。本申请结构简单，使用...
该专利属于苏州桔云科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州桔云科技有限公司授权不得商用。

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