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本发明公开了一种高纯铝平面靶材磨削加工装置,属于靶材加工技术领域,其包括:底座,所述底座的顶部设置有控制器和用于固定靶材的固定夹具;磨削机构,用于实现靶材的磨削加工,所述磨削机构包括升降框、平移板、安装架、侧板和磨削轮;冷却机构,用于对靶材...该专利属于江苏海泰光电材料科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏海泰光电材料科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种高纯铝平面靶材磨削加工装置,属于靶材加工技术领域,其包括:底座,所述底座的顶部设置有控制器和用于固定靶材的固定夹具;磨削机构,用于实现靶材的磨削加工,所述磨削机构包括升降框、平移板、安装架、侧板和磨削轮;冷却机构,用于对靶材...