【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材加工，尤其涉及一种高纯铝平面靶材磨削加工装置。
技术介绍
1、随着半导体工业、液晶显示技术及薄膜技术的发展，对高纯铝平面靶材的需求日益增长。高纯铝靶材因其优异的导电性、导热性和反射性，广泛应用于溅射镀膜等领域。
2、高纯铝平面靶材在加工过程中需要进行磨削加工处理，目前的常规磨削加工设备采用恒定的磨削进给速度和冷却效果进行加工，磨削区域过热会导致高纯铝高温而氧化，且磨削砂轮过热也会加剧磨损速度、甚至发生损坏；因此我们提出一种高纯铝平面靶材磨削加工装置来解决这个问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，包括：
4、底座，所述底座的顶部设置有控制器和用于固定靶材的固定夹具；
5、磨削机构，用于实现靶材的磨削加工，所述磨削机构包括升降框、平移板、安装架、侧板...
【技术保护点】
1.一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，所述压缩箱（7）的两侧分别连通有第一U型管（701）和第二U型管（703），所述第一U型管（701）和第二U型管（703）的两端均设置有单向阀（705），且所述第一U型管（701）的另一端连通有冷却供水管（702），所述第二U型管（703）的另一端连通有导出管（704），所述喷淋筒（8）的顶部连通有导入管（802），所述导入管（802）的另一端与所述导出管（704）的另一端连通；
3.根据权利要求2所述的一种高纯铝平面靶材...
【技术特征摘要】
1.一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，所述压缩箱（7）的两侧分别连通有第一u型管（701）和第二u型管（703），所述第一u型管（701）和第二u型管（703）的两端均设置有单向阀（705），且所述第一u型管（701）的另一端连通有冷却供水管（702），所述第二u型管（703）的另一端连通有导出管（704），所述喷淋筒（8）的顶部连通有导入管（802），所述导入管（802）的另一端与所述导出管（704）的另一端连通；
3.根据权利要求2所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，两个所述固定板（904）之间固定连接有同一个电阻条（10），所述电阻条（10）的外侧滑动套接有两个导电框（11），所述电阻条（10）和导电框（11）串联接入驱动电机（504）的电路内；
4.根据权利要求3所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，所述连接轴（9）的外侧固定安装有两个转板（910），所述转板（910）的外侧滑动套接有两个套板（908），位于同一侧的两个所述套板（908）相互靠近的一侧均固定连接有拉绳（906），所述拉绳（906）的另一端与对应的所述套筒（905）固定连接，且所述套板（908）的另一侧固定连接有压簧（909），所述压簧（909）的另一端固定连接有挡板，所述挡板固定连接在对应的所述转板（910）的外侧，且所述转板（910）的一侧转动安装有两个定滑轮（907），所述拉绳（906）绕设于对应的所述定滑轮（907）的外侧。
5.根据权利要求4所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，所述连接轴（9）的前后两侧均一体成型有导向凸起，所述套筒（905）滑动套接在所述导向凸起的外侧，且所述套筒（905）的一端一体成型有限位凸起，所述限位凸起活动抵接在对应的所述竖板（12）的一侧，且所述套筒（905）的另一端固定连接有限位圈，所述限位圈活动抵接在对应的所述竖板（12）的另一侧。
6.根据权利要求1所述的一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，其特征在于，所述安装架（601）的前侧固定安装有磨削电机（602），所述磨削轮（6）固定连接在所述磨削电机（602）的输出轴上，且所述安装架（601）的顶部固定连接有横板（603），所述侧板（606）的底部固定安装有安装板，所述安装板与所述横板（603）之间固定连接有第一压力传感器（604），且所述安...
【专利技术属性】
技术研发人员：常代展，王雷，郝国建，
申请(专利权)人：江苏海泰光电材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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