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本发明实施例提供了一种工艺配方的管理方法，该方法包括：获取设备自动化系统下发的工艺配方；对工艺配方进行加密处理，得到敏感数据资源包，以用于半导体工艺设备中包括的预设工艺模块调用敏感数据资源包中的工艺配方；在全部预设工艺模块对敏感数据资源包的...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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