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本发明涉及喷头技术领域，具体公开了一种针对反应釜内部清理的喷头及其使用方法，包括进口管、分水管、第一喷射部和第二喷射部；分水管与进口管的底部转动连接；第一喷射部包括第一固定喷射管、第一柔性连接管、第一调节式喷嘴、第一伸缩杆、第一调节段固定板...
该专利属于国镓芯科（成都）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国镓芯科（成都）半导体科技有限公司授权不得商用。

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