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本发明提供了一种基于等离子体的槽类阵列零件的调整方法、系统及装置，包括：确定具有槽型阵列的待加工样品的初始形态；基于初始形态、预设目标形态以及大气等离子体的各向同性刻蚀特性确定控制加工参数；基于控制加工参数控制对槽型阵列的各不同区域喷射大气...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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