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金属层的制备方法、得到的产品及芯片制造方法技术
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文档序号:42953415
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一种金属层结构的制备方法、得到的产品及芯片制造方法,属于半导体制造工艺领域。所述金属层结构的图形化制备方法包括:在基底上形成第一可剥离介质层;在其上形成第二可剥离介质层;对两个可剥离介质层图案化,形成“檐”状双层剥离结构;在双层剥离结构上形...
该专利属于北京怀柔实验室所有,仅供学习研究参考,未经过北京怀柔实验室授权不得商用。
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