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本发明公开了一种等离子喷涂工艺的基材温度控制系统，等离子喷涂工艺采用加热器对喷涂的基材进行加热；加热器热水管路通过工艺热水回水口和工艺热水出水口与工艺设备连接；基材温度控制系统设置温控板(1)，加热器设置在温控板中；温控板设置冷却水管路、冷...
该专利属于芜湖芯通半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖芯通半导体材料有限公司授权不得商用。

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