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本技术为一种氟化氢氯化氢废气分离装置,包括废气分离装置本体,废气分离装置本体包括多个储罐、核心膜组件、吸附罐、泵和压缩机,第一储罐其中一侧靠近顶部的位置设置有废气进口,废气进口连接有用于输送氟化氢氯化氢废气的第一管道,其顶部依次通过第二管道...该专利属于杭州艾尔克林工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州艾尔克林工程技术有限公司授权不得商用。
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