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一种晶圆级测试结构，包括：第一加热部件，所述第一加热部件与晶圆中器件的顶层金属位于同一层，且采用与所述顶层金属相同的材料；第二加热部件，所述第二加热部件与晶圆中器件的栅极位于同一层，且采用与所述栅极相同材料；以及，第一加热部件和第二加热部件...
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