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本技术公开了一种低压化学气相沉积设备清洗系统，包括低压化学气相沉积设备和与低压化学气相沉积设备相连的清洗装置，低压化学气相沉积设备包括炉管；清洗装置包括真空泵、清洗气体供给器、感应线圈和电源，真空泵和清洗气体供给器均与炉管相连通，感应线圈与...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

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