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本申请公开了一种压力控制方法、装置及半导体工艺设备。其中，该方法包括：获取反应腔室的设定压力和测量压力；若测量压力和设定压力不一致，则根据测量压力和设定压力确定压力调节阀的运动方向，并控制压力调节阀沿运动方向运动；在压力调节阀的运动过程中，...
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