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本技术涉及喷淋头领域，公开了一种新型半导体气体喷淋头，包括喷淋套，喷淋套的顶部连通有三通阀管，三通阀管的左端连通有固定套，固定套的左侧连通有进气管，固定套的顶部固定连接有电机，电机的输出端贯穿至固定套的内部并固定连接有往复螺杆，往复螺杆的表...
该专利属于赛林斯弥（无锡）电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛林斯弥（无锡）电子科技有限公司授权不得商用。

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