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本发明公开了一种化学机械抛光浆料，包括有氧化剂，其中，所述的氧化剂包含两组氧化剂，其中一组为选自高锰酸及其可溶性盐中的一种或多种，另一组为选自硝酸及其可溶性盐中的一种或多种。本发明的化学机械抛光浆料通过氧化剂高锰酸根和硝酸根，与研磨颗粒的相...
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