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本发明涉及材料处理技术领域，且公开了一种溅射靶材清洗装置及其方法，包括浸泡池，所述浸泡池的上方固定连接有支撑壁，所述支撑壁的上方安装有动力组件，所述动力组件包括固定安装在支撑壁上方的气动伸缩杆，所述气动伸缩杆的一端固定连接有滑动管，所述滑动...
该专利属于光微半导体材料（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光微半导体材料（宁波）有限公司授权不得商用。

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