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本申请公开了一种光学镜组切换装置及晶圆激光加工组件。该光学镜组切换装置包括:多个光学镜组;镜组切换组件,包括分度转盘和旋转驱动件,分度转盘周向设置多个可容置光学镜组的通孔,旋转驱动件连接分度转盘并用于驱动分度转盘转动,使得其中任意一个通孔位...该专利属于武汉帝尔激光科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉帝尔激光科技股份有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种光学镜组切换装置及晶圆激光加工组件。该光学镜组切换装置包括:多个光学镜组;镜组切换组件,包括分度转盘和旋转驱动件,分度转盘周向设置多个可容置光学镜组的通孔,旋转驱动件连接分度转盘并用于驱动分度转盘转动,使得其中任意一个通孔位...