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本发明涉及防护膜、防护膜组件、曝光原版、曝光装置和防护膜的制造方法，该防护膜，其包含多个碳纳米管且衍射峰比率为1.3以上，该多个碳纳米管的一部分形成多个管束，所述衍射峰比率表示：在利用透射电子显微镜对所述防护膜的表面进行观察得到的选区衍射图...
该专利属于三井化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三井化学株式会社授权不得商用。

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