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一种体声波谐振器制造技术
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下载一种体声波谐振器的技术资料
文档序号:42882343
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本公开实施例提供一种体声波谐振器。该体声波谐振器包括衬底,依次设于所述衬底上的反射结构、下电极、压电层和上电极;位于谐振区外的至少一个第一附加结构以及位于所述谐振区内的至少一个第二附加结构;所述第一附加结构部分位于所述压电层上,部分位于所述...
该专利属于武汉光钜微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉光钜微电子有限公司授权不得商用。
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