【技术实现步骤摘要】
本公开实施例涉及声波器件，尤其涉及一种体声波谐振器。
技术介绍
1、谐振器是用于产生谐振频率的电子元件，能够起到频率控制的作用，被广泛应用于各种电子产品中，也是滤波器的组成部分之一。
2、随着现代无线通信技术向高频、高速方向发展，对射频通信常用的滤波器提出了更高的要求。
技术实现思路
1、有鉴于此，本公开实施例提供一种体声波谐振器。
2、为达到上述目的，本公开的技术方案是这样实现的：
3、本公开实施例提供一种体声波谐振器，该体声波谐振器包括：衬底，依次设于所述衬底上的反射结构、下电极、压电层和上电极；位于谐振区外的至少一个第一附加结构以及位于所述谐振区内的至少一个第二附加结构；所述第一附加结构部分位于所述压电层上，部分位于所述上电极上；所述第一附加结构和所述第二附加结构之间存在高度差。
4、在一些实施例中，所述体声波谐振器包括多个所述第一附加结构的情况下，各个所述第一附加结构之间存在高度差。
5、在一些实施例中，多个所述第一附加结...
【技术保护点】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，
3.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，
4.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一附加结构在所述衬底上的投影与所述下电极在所述衬底上的投影之间不存在重叠区域。
5.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一附加结构在所述衬底上的投影与所述下电极在所述衬底上的投影之间存在重叠区域；所述第一附加结构的材料为非金属材料。
6.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第二附加结构和相邻...
【技术特征摘要】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，
3.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，
4.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一附加结构在所述衬底上的投影与所述下电极在所述衬底上的投影之间不存在重叠区域。
5.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一附加结构在所述衬底上的投影与所述下电极在所述衬底上的投影之间存在重叠区域；所述第一附加结构的材料为非金属材料。
6.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第二附加结构和相邻所述第一附加结构之间的距离与任意两个相邻所述第一附...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈香玉，张大鹏，靳小冬，
申请(专利权)人：武汉光钜微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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