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本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆倒膜系统，该晶圆倒膜系统设有第一工位、第二工位、第三工位以及第四工位，晶圆倒膜系统包括转运机构、第一撕膜机构、供给机构、第二撕膜机构、热压机构以及分离出料机构。本发明公开的晶圆倒膜系统通过设置相互配...
该专利属于环诚智能装备（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环诚智能装备（成都）有限公司授权不得商用。

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