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本发明涉及电化学机械抛光技术领域，公开了一种用于碳化硅衬底的电化学机械抛光方法，该方法包括如下步骤：通过喷头向固结磨料研磨垫喷出化学液；利用研磨液整理器对固结磨料研磨垫进行预研磨，同时通过喷头向固结磨料研磨垫喷出化学液，以使化学液向通孔中流...
该专利属于北京晶亦精微科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京晶亦精微科技股份有限公司授权不得商用。

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