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本发明提供了一种体声波滤波器及其制备方法。该制备方法中，将用于频率调整的调频层设置在下电极层的下方，同时可以从第一衬底的第二表面进行刻蚀以形成背腔，从而可通过背腔对暴露出的调频层进行修整实现频率调整，避免了频率调整的修整步骤被限制在第一衬底...
该专利属于芯联集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯联集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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