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本技术及半导体技术领域，特别是涉及一种光罩的传输装置及半导体制造设备，所述光罩的传输装置包括：转运轨道，布设于光罩的存放位置到上料位置的顶部；抓取组件，滑动连接于所述转运轨道上；清洁室，设置于所述存放位置和所述上料位置之间；其中，所述抓取组...
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