【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，尤其涉及一种光罩的传输装置及半导体制造设备。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，光罩扮演着至关重要的角色。光罩是印刻有特定图案的特殊透光材料，光线透过光罩将光罩上的图形印刷到玻璃上。光罩曝光是极其精密的过程，要求生产洁净度极高。光罩表面细微的脏污或杂质都将影响光的透过率，从而造成线宽或膜厚的变化形成瑕疵或mura，影响批量产品品质。
2、现有技术中，光罩在储存及搬运中使用的装载容器是光罩盒，通常光罩盒是密封的，可以保护光罩免受撞击损伤或微尘污染。然而，使用光罩时，需要人工进行搬放、及后续的人工清洁，在上述过程中，光罩极易出现污染和损伤。因此，存在待改进之处。
技术实现思路
1、本技术提供一种光罩的传输装置及半导体制造设备，以解决在光罩搬运过程中，易受到污染和损伤的技术问题。
2、本技术提供的一种光罩的传输装置，包括：
3、转运轨道，布设于光罩的存放位置到上料位置的顶部；
4、抓取组件，滑动连接于所述转运轨道上；
...
【技术保护点】
1.一种光罩的传输装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光罩的传输装置，其特征在于，所述抓取组件包括：
3.根据权利要求2所述的光罩的传输装置，其特征在于，所述吸附机构的底面设有多个气吸孔，每个所述气吸孔吸附所述光罩的顶面。
4.根据权利要求3所述的光罩的传输装置，其特征在于，所述吸附机构还包括：
5.根据权利要求2所述的光罩的传输装置，其特征在于，所述清洁机构的数量为两个，两个所述清洁机构相对设置于所述吸附机构的两侧。
6.根据权利要求5所述的光罩的传输装置，其特征在于，所述清洁机构包括：>
7.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种光罩的传输装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光罩的传输装置，其特征在于，所述抓取组件包括：
3.根据权利要求2所述的光罩的传输装置，其特征在于，所述吸附机构的底面设有多个气吸孔，每个所述气吸孔吸附所述光罩的顶面。
4.根据权利要求3所述的光罩的传输装置，其特征在于，所述吸附机构还包括：
5.根据权利要求2所述的光罩的传输装置，其特征在于，所述清洁机构的数量为两个，两个所述清洁机构相对设置于所述吸附机构的两侧。
6.根据权利要求5所述的光罩的传输...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈卫军，欧阳增图，刘凌海，
申请(专利权)人：深圳市辰中科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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