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本发明涉及半导体级石英的制备技术领域，具体涉及一种高纯度合成石英砂的制备方法，具体技术方案如下，水解，在惰性气体氛围中，以盐酸为酸性催化剂，醇和高纯水为溶剂，在加热的条件下，将多聚硅氧烷水解；制备溶胶，在加热的条件下，向水解体系中加入高纯水...
该专利属于江苏鑫华半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鑫华半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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