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一种镀金钯铜线及其制备方法技术
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文档序号:42873090
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本发明涉及集成电路领域,具体涉及一种镀金钯铜线及其制备方法,制备方法包括以下步骤:步骤1,退火处理,得到第一铜线基材;步骤2,超声清洁,得到第二铜线基材;步骤3,镀钯处理,得到第三铜线基材;步骤4,镀金处理,得到第四铜线基材;步骤5,超声清...
该专利属于烟台一诺电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过烟台一诺电子材料有限公司授权不得商用。
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