下载一种镀金钯铜线及其制备方法的技术资料

文档序号:42873090

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本发明涉及集成电路领域,具体涉及一种镀金钯铜线及其制备方法,制备方法包括以下步骤:步骤1,退火处理,得到第一铜线基材;步骤2,超声清洁,得到第二铜线基材;步骤3,镀钯处理,得到第三铜线基材;步骤4,镀金处理,得到第四铜线基材;步骤5,超声清...
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