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本发明提供一种技术，其具有：第一容器移动部，其能够移动容器；第二容器移动部，其配置于与上述第一容器移动部不同的位置，且能够移动上述容器；多个制程模块，其能够对上述容器内的基板进行处理；基板搬送部，其配置于上述第一容器移动部与上述第二容器移动...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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