下载一种应用在MEMS气体传感器的控温模块的技术资料

文档序号:42862705

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本发明涉及气体传感器的技术领域,具体为一种应用在MEMS气体传感器的控温模块,包括有安装基板,安装基板的一侧表面连接有半封闭金属保温罩,半封闭金属保温罩的内部设置有气体传感器阵列,在气体传感器阵列的旁边安装有腔室内温度传感器,半封闭金属保温...
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