【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体传感器的，具体为一种应用在mems气体传感器的控温模块。
技术介绍
1、工业和日常生活中实现对危险品气体，诸如co，co2，no，no2，ch4的高灵敏检测，可以避免其泄露对社会财产和公共安全造成的巨大危害。在提高传感器探测性能和便携性的同时，实现多种气体同时检测，满足物联网、复杂环境对多气体传感器的发展需求。金属氧化物半导体类型气体传感器（mosgs）是一种被应用广泛的气体传感器，这与其价格低廉、使用周期长和敏感度高等密不可分。mosgs通常采用高温加热的方式使其表现出更好的传感性能，早期的mosgs而且块头大，使得其应用被进一步限制。近些年来随着mems的发展和应用，mosgs也从最初的陶瓷基底升级到硅基底，从大模块发展到微型化，从高耗能发展到低能耗。
2、现有的气体传感器仍然存在一些不足点，比如因为mems的高度集成化，传感器的所有功能层会被一层一层的叠加，包括硅基底、加热层、介质层、电极层、敏感层和其他辅助薄膜，更复杂的结构和这些材料的特殊性，使得其与传统的陶瓷基底相比，增加了更多不稳定的因素，造成...
【技术保护点】
1.一种应用在MEMS气体传感器的控温模块，包括有安装基板（1），其特征在于：所述安装基板（1）的一侧表面连接有半封闭金属保温罩（2），所述半封闭金属保温罩（2）的内部设置有气体传感器阵列（3），在气体传感器阵列（3）的旁边安装有腔室内温度传感器（7），所述半封闭金属保温罩（2）内还安装有安装架（4），所述安装架（4）上设置有加热网板（5），所述加热网板（5）连接有加热温控温度传感器（8），所述安装基板（1）表面位于半封闭金属保温罩（2）的旁边设置有外接环境温度传感器（6），所述安装基板（1）的另一侧设置有便于拆装的安装机构，所述半封闭金属保温罩（2）上安装有可调节的
<...【技术特征摘要】
1.一种应用在mems气体传感器的控温模块，包括有安装基板（1），其特征在于：所述安装基板（1）的一侧表面连接有半封闭金属保温罩（2），所述半封闭金属保温罩（2）的内部设置有气体传感器阵列（3），在气体传感器阵列（3）的旁边安装有腔室内温度传感器（7），所述半封闭金属保温罩（2）内还安装有安装架（4），所述安装架（4）上设置有加热网板（5），所述加热网板（5）连接有加热温控温度传感器（8），所述安装基板（1）表面位于半封闭金属保温罩（2）的旁边设置有外接环境温度传感器（6），所述安装基板（1）的另一侧设置有便于拆装的安装机构，所述半封闭金属保温罩（2）上安装有可调节的进气机构。
2.根据权利要求1所述的一种应用在mems气体传感器的控温模块，其特征在于：所述安装机构包括有固定板（9），所述固定板（9）的表面对称设置有两块对接板（10），对接板（10）为“匚”型结构，对接板（10）上开设有两个定位孔，在安装基板（1）内设置有滑动腔，滑动腔内滑动设置有两块内滑板（11），在两块内滑板（11）的相对面上各设置有一根连接板（15），在连接板（15）上设置有齿条（16），在安装基板（1）的滑动腔的内部转动安装有联动齿轮（17），联动齿轮（17）位于两根连接板（15）之间，联动齿轮（17）与齿条（16）啮合连接，在内滑板（11）的另一面上设置有一组顶紧弹簧（14），内滑板（11）的一侧壁上设置有一组导向柱，导向柱穿过安装基板（1）表面的滑槽延伸出去，导向柱端部固定连接有固定夹板（12），固定夹板（12）一侧表面设置有两根定位凸柱（13），固定夹板（12）嵌入对接板（10）中，且定位凸柱（13）插接在定位孔中。
3.根据权利要求1所述的一种应用在mems气体传感器的控温模块，其特征在于：所述半封闭金属保温罩（2）的表面拐角处设置有一个过气孔。
4.根据权利要求1所述的一种应用在mems气体传感器的控温模块，其特征在于：所述进气机构包括有安装块（18），所述安装块（18）的上表面设置有气管底罩（19），所述气管底罩（19）连接有进气管（20），所述进气管（2...
【专利技术属性】
技术研发人员：原廷彪，周赛赛，蔡人文，
申请(专利权)人：启思半导体杭州有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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