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本技术公开了一种晶圆固定装置，包括转盘，转盘的边缘处以中心对称的对称方式分布有多个夹爪组件，夹爪组件上安装有用于装载晶圆时定位晶圆的定位柱。本技术的有益效果是：在装载晶圆时，晶圆在定位柱的导向作用下能够精准地放置于盘面的中心位置处，避免人为...
该专利属于苏州科阳半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州科阳半导体有限公司授权不得商用。

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