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本发明涉及一种红外增透减反射膜及其制备方法与应用,属于光学薄膜技术领域,所述制备方法包括如下步骤:(1)基底表面原子层沉积氧化铝层;(2)步骤(1)所得氧化铝层进行浸泡处理,浸泡处理完成后进行烘干,得到所述红外增透减反射膜。本发明采用原子层...该专利属于光驰半导体技术(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光驰半导体技术(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种红外增透减反射膜及其制备方法与应用,属于光学薄膜技术领域,所述制备方法包括如下步骤:(1)基底表面原子层沉积氧化铝层;(2)步骤(1)所得氧化铝层进行浸泡处理,浸泡处理完成后进行烘干,得到所述红外增透减反射膜。本发明采用原子层...