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本发明提供金属薄膜压力芯体及制备方法，涉及压力传感器敏感元件技术领域，以在一定程度上优化压力芯体结构，改善测压电桥输出灵敏度、零位温漂和灵敏度温漂，提升传感器的工作温度范围和精度。本发明提供的金属薄膜压力芯体,包括弹性基体、绝缘层、补偿电阻...
该专利属于中航光电华亿（沈阳）电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中航光电华亿（沈阳）电子科技有限公司授权不得商用。

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